三相20000W水冷电源
产品简介
Auto-Match自动匹配器是设计用来将等离子体腔体工作时的阻抗（容性或感性）自动转换成为能使射频功率源输出最大功率的状态。Auto-Match自动匹配器是设计为频率范围为1MHz至81MHz，功率范围为100W至10kW的射频功率源提供能使其输出最大功率的阻抗。
Auto-Match自动匹配器采用全数字控制模式，极大的提高了匹配速度和匹配精度，同时也大大的增加了应用的灵活性。
Auto-Match自动匹配器采用了优化算法能在根据负载的阻抗调节电容转速的同时避免目前PECVD设备中普遍存在的多匹配器之间的干扰问题，达到更快更精确的匹配效果而且提高了Auto-Match自动匹配器的稳定性及使用寿命。
Auto-Match自动匹配器主要采用L型拓扑结构，具有较宽的匹配范围，甚至是很小的阻抗；能广泛地使用与各种容性或感性的阻抗；典型应用于等离子体刻蚀，PECVD，射频溅射、平行板、射频激光、ICP、RIE、CVD和PVD等半导体及太阳能薄膜的典型工艺。
Auto-Match自动匹配器使用能耐大电流，高电压的真空功率器件，使其能工作在大电流和高电压的情况下，同时这些真空功率器件能为Auto-Match自动匹配器提供比空气电容更加精准的匹配，从而大幅度地减少了反射功率。
Auto-Match自动匹配器能实时监控等离子腔体的自偏压和射频峰值电压，为射频功率源提供实时的自偏压和峰值信号。
Auto-Match自动匹配器采用了延时和定点采样技术，即使射频电源工作在脉冲模式也不影响匹配速度和效果。
产品规格表格
描述 | 产品规格 |
匹配器安装 | 直接安装到等离子体腔体上； 或者安装到预留的安装板上 |
尺寸 | 510mm X 400mm X 178mm (长X 宽 X 高) |
连接接头规格 | |
前面板上User Port接头 | DB15母头 |
RS232通信接头 | DB9 母头 |
前面板上RF IN输入接头 | 7/16 同轴连接器 母头 |
后面板上RF OUT输出接头 | 7/16 同轴连接器 母头或者根据客户要求定制 |
前面板上AC MAINS输入 | IEC 320连接器 |
内部电感规格及拓扑结构 | |
拓扑结构 | L型，如图1-2所示 |
抽头电感 | 3 圈，带有三个抽头 |
输出电感 | 3至14圈不等，根据客户需求选择 |
产品电气规格表
描述 | 产品规格 |
工作频率 | 13.56MHz±5% |
AC MAINS输入电压 | 100VAC 至240VAC 单相 |
描述 | 产品规格 |
AC MAINS输入频率 | 50Hz 至60Hz |
AC MAINS输入电流 | 0.7A 至1.0A |
最高传输功率 | 5000W |
最大RF 负载电压 | 2000Vpk |
最大RF负载电流 | 45A RMS |
射频功率源的输入阻抗 | 50Ω |
匹配时间 | <3s,任何情况下 <2s,处在预设位置 |
匹配范围 | 实部：+1Ω至+45Ω 虚部：-220jΩ至+100jΩ (需根据客户的负载情况由Generator Research技术人员确定具体所需的阻抗范围) |
自动匹配完成后反射功率 | 小于设定功率值的1% |
不同功率下匹配器 的安全范围 | Generator Research技术人员将根据客户具体使用的阻抗范围确定匹配器在不同功率工作下的安全范围 |
散热及环境规格
描述 | 规格 |
冷却方式 | 风冷 |
最小空气流量 | 150平方米每小时 |
运行环境温度 | +5℃至+40℃ |
运行环境湿度 | 5%至70% |
运行环境气压 | 78kPa至106kPa |
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